真空泵的技術參數包含極限壓力，抽速，功率，溫升，振動，噪聲和使用壽命。最重要的是泵的極限壓力，抽速和電動機功率。

極限壓力：泵獲得的最低穩定壓力，單位Pa，與下列因素相關：

（1）它與測量壓力時采用的真空計的類型相關，壓縮真空計。測量結果大概比導熱率真空計所測量的值高一個數量級。

（2）泵油循環

（3）它與泵油的工作溫度相關：油溫越高，油的飽和蒸氣壓越高，泵的極限真空度越低。

（4）它與泵腔接觸點和排氣口中間的有害空間相關。因為在有害空間中，真空泵無法將其從泵腔中排出，而是將其帶回到吸入側，進而造成極壓。隨之壓力的升高，泵中循環的泵油會填充到有害空間中，進而能夠消除有害空間對極限壓力的影響。

（5）零件的加工精度，活動零件中間的間隙，軸端密封件等。

（6）抽氣速率：單位時間內的廢氣量，以L.S-1為單位。